LPR

负性环氧光刻胶LPR-1600

产品简介：

LPR-1600 是一款高性能的负性环氧光刻结构胶，具备优异的耐高温、耐化学腐蚀与电气绝缘特性，专为微机电（MEMS）、SAW 封装与生物芯片等应用而设计。此液态感光材料可透过紫外光曝光进行光固化，在各种基材表面展现出色的附着力，并在制程完成后形成坚固的保护层。其解析能力可达 10 µm 线宽与线距，垂直侧壁成型良好。产品不含有机硅，非常适合应用于喷墨头、芯片封装与高分辨率微结构制作。

产品特性：

• 高可靠性（耐热性、机械特性、绝缘特性、耐化学性）
• 优异的附着解析性能
• 可旋涂工艺
• 笔直的侧壁
• 可室温避光储存

产品用途：

• 适用于用于IC载板及晶圆极封装、空腔微结构、MEMS、生物介质微流道等旋涂工艺。        

产品性能参数表：

特殊要求：

该产品为基础性产品，如有其他需求，公司研发团队可根据客户的具体需求进行一对一开发定制化产品。

制程工艺